金屬和氧化物覆蓋層厚度測量，GB/T 6462-2005

金屬和氧化物覆蓋層厚度的測量可以采用多種方法，以下是幾種常用的方法：

1. 金相法：這種方法使用金相顯微鏡檢測橫斷面，直接以標尺輔助測量金屬覆蓋層、氧化膜層的局部厚度。通常，厚度檢測需要大于1um，以保證測量結果在誤差范圍之內；厚度越大，誤差越小。

2. 庫侖法：這是一種適合測量單層和多層金屬覆蓋層厚度的方法，也稱為陽極溶解庫侖法。它不僅可以測量平面試樣的覆蓋層厚度，還可以測量圓柱形和線材的覆蓋層厚度，尤其適合測量多層鎳鍍層的金屬及其電位差。可以測量的鍍層種類包括Au、Ag、Zn、Cu、Ni、dNi、Cr等。

3. X-ray方法：這種方法適用于測定電鍍及電子線路板等行業需要分析的金屬覆蓋層厚度，包括金(Au)，銀(Ag)，錫(Sn)，銅(Cu)，鎳(Ni)，鉻(Cr)等金屬元素厚度。本測量方法可同時測量三層覆蓋層體系，或同時測量三層組分的厚度和成分。

4. 磁性法：磁性測厚儀通過測量磁鐵和基體金屬之間由于存在覆蓋層而引起的磁引力的變化，或者測量穿過覆蓋層與基體金屬的磁通路的磁阻，來確定覆蓋層的厚度。這種方法適合測量磁性金屬上的非磁性鍍層。

5. 電鏡法：掃描電鏡在成像時，可以利用軟件對樣品進行膜厚測量，并顯示測得的膜厚。

在選擇測量方法時，應根據具體的材料和覆蓋層類型，以及所需的測量精度和方便性來決定。同時，還需要注意測量過程中的安全問題，確保操作正確并遵循相關的安全規定。